Metal oksit yarı iletken sensörler (MOS sensörleri) olarak da bilinen yarı iletken sensörler,gaz sensörle doğrudan temas ettiğinde gerçekleşen kimyasal bir reaksiyonla gazları algılar.Kalay dioksit, yarı iletken sensörlerde kullanılan en yaygın malzemedir ve sensördeki elektrik direnci, izlenen gazla temas ettiğinde azalır.Kalay dioksitin direnci havada tipik olarak 50 kΩ civarındadır ancak % 1 metan varlığında 3.5 kΩ civarına düşebilir. Dirençteki bu değişiklik,gaz konsantrasyonunu hesaplamak için kullanılır.Yarı iletken sensörler, hidrojen, oksijen, alkol buharı ve karbon monoksit gibi zararlı gazları tespit etmek için yaygın olarak kullanılır.Yarı iletken sensörlerin en yaygın kullanımlarından biri karbon monoksit sensörlerdir.Alkol ölçerlerinde de kullanılırlar. Sensörün algılaması için gazla temas etmesi gerektiğinden, yarı iletken sensörler kızılötesi nokta veya ultrasonik dedektörlerden daha küçük bir mesafede çalışır.
MOS sensörleri, karbon monoksit, sülfür dioksit, hidrojen sülfit ve amonyak gibi farklı gazları algılayabilir.1990’lardan beri MOS sensörleri önemli çevresel gaz dedektörleri haline geldi.
